Chemical vapor deposition

Chemical vapor deposition (CVD) -

là lắng đọng/kết tủa hóa học pha hơi, là một phương pháp lắng đọng chân không được sử dụng để sản xuất vật liệu rắn, chất lượng cao, hiệu suất cao. Quá trình này thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để sản xuất màng mỏng.